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上海半导体装备材料基金（领投）、深圳市富海新材二期创业基金、深圳南山中小企业发展基金等投资瀚薪科技38.9%股权

注：以上所有数据均来自 清科私募通

2021年1月11日，上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙）（领投）、深圳市富海新材二期创业投资基金合伙企业（有限合伙）、中小企业发展基金（深圳南山有限合伙）、深圳南山架桥*智能装备投资合伙企业（有限合伙）、宁波梅山保税港区鸿国投资中心（有限合伙）等投资上海瀚薪科技有限公司数亿人民币。

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