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国调国信智芯基金（领投）、北京集成电路装备产业投资并购基金（领投）、润科基金投资埃克斯工业

注：以上所有数据均来自 清科私募通

2021年12月28日，南京国调国信智芯股权投资合伙企业（有限合伙）（领投）、北京集成电路装备产业投资并购基金（有限合伙）（领投）、润科（上海）股权投资基金合伙企业（有限合伙）投资埃克斯工业（广东）有限公司。

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